1. Цель настоящего практического занятия — познакомиться с программой технологического моделирования Sprocess пакета TCADSynopsys. Предполагается, что выполняющий самостоятельную работу имеет доступ к установленным программам пакета приборно-технологического моделирования TCAD. Следует также заметить, что работа с TCADпроизводится в операционной среде LINUX.
2. Для выполнения задания следует предварительно изучить теоретический материал, пример выполнения работы по теме занятия и воспользоваться этим материалом для выполнения поставленных задач. Необходимо заранее составить все требуемые файлы для всех используемых программ. Наличие данных файлов является допуском к выполнению работы
3. В ходе выполнения работы необходимо сформировать технологический маршрут формирования структуры в соответствии с вариантом задания. Провести двухмерное моделирование технологического маршрута данного прибора. Провести расчет ВАХ сформированных приборов в соответствии с вариантом задания.
4. В конце работы необходимо оформить отчет в соответствии с имеющимися требованиями.
Загрузка...
